一种超高纯硫酸铜电镀液及其制备方法和应用
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2025-10-03
电镀液 制备工艺 超高纯硫酸铜
本发明属于电镀技术技术领域,尤其涉及一种超高纯硫酸铜电镀液及其制备方法和应用,通过采用纯度≥99.9995%的超纯铜、超纯硫酸、超纯盐酸作为原料,采用自主设计的电解装置,经电解法可制备纯度≥99.9999%的酸性硫酸铜溶液.引入咪唑类离子液体同时作为加速剂和整平剂,与抑制剂聚乙二醇协同作用,通过小分子快速扩散与可控吸附‑还原机制,突破传统SPS‑PEG‑JGB‑Cl‑体系在超微孔填充中的扩散限制,可以实现均匀且充分的电镀.电镀得到的镀层没有出现孔隙孔洞,表面平整,结构致密性良好,表现出良好的晶圆铜互连应用效果.
