一种辅助激发微波等离子体的方法及装置
河南光合新能科技有限公司 河南省科学院先进陶瓷研究所
2025-09-19
初始等离子体 反应腔 脉冲调制 反应活性 激发技术 微波功率条件 混合气体 多参数 惰性气体
本发明公开了一种辅助激发微波等离子体的方法及装置,涉及等离子体激发技术领域.方法包括:将反应腔体内气压降低至5‑10kPa,通入纯CO2气体;对反应腔体内施加微波,激发初始等离子体;提升反应腔体内气压至常压,同时调节微波频率匹配阻抗变化;当反应腔体内气压≥80kPa时,向反应腔体内注入惰性气体,形成混合气体环境;提升反应腔体内CO2浓度占比至≥95％,通过光谱反馈动态调节微波功率;反应腔体内CO2浓度达90％时,激活微波脉冲调制,抑制等离子体震荡.本发明通过多参数动态耦合控制,能够在低功率条件下实现等离子体稳定激发,显著提升反应活性,适用于微波窑炉,加热窑炉等多种工业场景.
