科技成果
MPCVD培育金刚石设备应用
完成单位：
河南省科学院激光制造研究所
完成人员：
郭帅龙
技术领域：
先进制造（高端装备制造）
成果归属：
独有
完成时间：
2025-12-01
获奖情况：
技术先进度：
2
技术创新度：
1
技术成熟度：
7
成果体现形式：
新材料
成果所处阶段：
样品
期望成果转化方式：
MPCVD系统，作为一种先进的金刚石单晶生长装备，以其在低温条件下制备高质量金刚石的能力而备受青睐。该系统通过超高温和大功率微波激发反应气体，生成活性碳原子基团，并在金刚石衬底上实现同质外延生长，为半导体和光学级金刚石的生产提供了关键技术。本项目深化了对金刚石生长机理、晶体缺陷控制及材料结构与性能关系的理解，推动了设备制造、原料供应、产品加工等产业链的发展。
其高性能特性在半导体、光学、电子、生物医学等高精尖领域表现突出，显著加速了我国国防工业现代化、科技尖端化及军事科技化的步伐。
知识产权名称：
一种阶梯式可调的微波等离子体化学气相沉积设备生长基台
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
还未受理
获批日期：
还未受理
知识产权名称：
一种晶圆级单晶金刚石自支撑膜的制备方法
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
还未受理
获批日期：
还未受理
知识产权名称：
一种金属结合剂金刚石砂轮的3D打印制备方法
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
还未受理
获批日期：
还未受理
知识产权名称：
一种扭矩控制的可确保正常开启的超高压卸压阀
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
还未受理
获批日期：
还未受理
联系方式
机构名称：
河南省科学院激光制造研究所
联系人员：
任园园
联系人电话：
15738897122 0371-85908756
联系人邮箱：
jgzz-gkzp@hnas.ac.cn
省、市、县：
河南省郑州市
邮政编码：
450046
详细地址：
河南省郑州市金水区明理路266-38号
