科技成果
基于激光的晶圆隐形切割系统
完成单位：
河南省科学院激光制造研究所
完成人员：
郝宏伟
技术领域：
先进制造（高端装备制造）
成果归属：
独有
完成时间：
2025-06-01
获奖情况：
技术先进度：
3
技术创新度：
1
技术成熟度：
7
成果体现形式：
新材料
成果所处阶段：
样品
期望成果转化方式：
解决国内在高精度晶圆切割方面的研究瓶颈问题，本团队聚焦第三代半导体材料SiC等硬脆材料，开展激光隐切和激光剥离等先进激光加工关键技术研究。重点对SiC晶圆超细高效隐形切割的超快激光多焦点划片工艺机制、SiC飞秒和皮秒激光器隐形切割过程中的结构演变和缺陷形成机制、晶圆运动控制技术和定位对准的算法和实现方式进行分析研究，最终设计并制造面向产业化的高精度和高自动化程度的晶圆激光隐形切割设备。
该项目完成基础研究到应用研究，形成新的自主知识产权的我省及我国新一代激光隐形晶圆划片微加工新装备。
知识产权名称：
一种隐切加工物镜的三维调整结构及方法
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
CN202410944837
获批日期：
2024-07-15
知识产权名称：
一种晶圆激光隐形切割电气控制系统及方法
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
CN2024109097326
获批日期：
2024-07-09
知识产权名称：
一种基于激光改质晶圆切割的多尺度对焦系统及方法
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
CN2024108997233
获批日期：
2024-07-05
知识产权名称：
一种基于激光隐形加工技术的特异性气体富集方法
所有权人：
河南省科学院激光制造研究所
申请号：
CN2024109291148
获批日期：
2024-07-11
联系方式
机构名称：
河南省科学院激光制造研究所
联系人员：
任园园
联系人电话：
15738897122 0371-85908756
联系人邮箱：
jgzz-gkzp@hnas.ac.cn
省、市、县：
河南省郑州市
邮政编码：
450046
详细地址：
河南省郑州市金水区明理路266-38号
